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全自（zì）动视觉AOl检查机

全自动晶圆外观（guān）检查机主要是适用于晶（jīng）圆外观缺陷的检测设备，以提（tí）高（gāo）客（kè）户生（shēng）产效率;适（shì）用于4inch，6inch，8inch晶圆。

产品（pǐn）描（miáo）述

产品特点：

• 检测（cè）同时（shí）支持线宽测量及套刻测（cè）量三合一。
• 表面缺陷（xiàn）检（jiǎn）测（cè）能（néng）力（lì）可（kě）达0.3um。
• 自（zì）动检测无需人（rén）工（gōng）,单机（jī）缺陷检测模式（shì）。
• 灵活高效多种方式的（de）缺陷和自动缺陷分（fèn）类。
• 单层图形（xíng）和多层图形（xíng）检测,及自定义区域检（jiǎn）测（cè）。
• 高精度线（xiàn）宽（kuān）量及套刻（kè）尺寸测（cè）量系统。
• 自动脚本编程能力和自动化运行。
• 自带自动检（jiǎn）测料盒功能,自带 Mapping功能,可双面（miàn）检测。
• 晶圆机械手完成设备内的晶圆片运转;JEL/首镭自主机械手（shǒu）。

产（chǎn）品应（yīng）用领域：

全自动晶（jīng）圆外观检查机主要是适用于晶（jīng）圆（yuán）外观（guān）缺陷的检测设（shè）备，以提高客户生产效率;适用于4inch，6inch，8inch晶圆。

产品参数

激光类型配（pèi）置	设备型号SL-WOV1020
适用晶（jīng）圆	4寸.6寸.8寸（cùn）
线扫相机+激光测（cè）量仪（yí）	16K线扫相机+激光测量仪：幅宽6mm扫（sǎo）描间隔（gé）lum-10um;
相机镜头	镜（jìng）头WD:49mm FOV:360mm图像分辨（biàn）率：2lum
线扫同轴光源	发光区域340mm*40mm
线扫线光源	组合光源；线光源2组；发光区域（yù）340mm*20mm
检测（cè）类型	外观不良；尺寸、厚度测量（liàng）
产品（pǐn）上下料方式	Open cassette;
产品传送（sòng）方式	日本JEL晶圆ROBOT+Mapping功能
晶（jīng）圆载（zǎi）台	X.Y.Z.R载台（tái）：形成6.5mm;粗调360°、微（wēi）调±5°、最（zuì）小（xiǎo）行程5um
晶圆平移模组	行程350mm'重复精度±20um
软（ruǎn）件	首镭专用晶圆外观检查软件系统；
OCR读取	视觉识别(可选配)
FFU	双FFU;99.995%@0.3um;400-500cmh
系统对接（jiē）	MES与（yǔ）EAP(具备TCP/IP;支持SECS-GEM通讯（xùn）标准)
设备尺寸	L:1700mmW:1350mmH:1900mm

全自（zì）动视觉AOl检查机

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