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产品描述
产品特点（diǎn）：
• 检测同时支持线（xiàn）宽测量（liàng）及套刻测（cè）量三（sān）合一。
• 表面缺陷检（jiǎn）测能力可达 0.3um。
• 自动（dòng）检测无需（xū）人工，单（dān）机缺陷检测模式。
• 灵（líng）活（huó）高效多（duō）种方（fāng）式的（de）缺陷（xiàn）和自动缺陷分类。
• 单层图（tú）形和多层图形（xíng）检测，及自定义区域检测。
• 高精度（dù）线宽量及套刻（kè）尺寸测量系统。
• 自动脚本（běn）编程能力和（hé）自（zì）动（dòng）化运行。
• 自带自动检测（cè）料盒功能（néng），自（zì）带 Mapping 功能，可双面检测。
• 晶圆机（jī）械手完成设备内的晶圆（yuán）片运转；JEL/ 首镭（léi）自（zì）主机（jī）械手。
产品应用（yòng）领域：
全（quán）自动晶圆外观检查机主要是适用于晶圆（yuán）外观（guān）缺陷（xiàn）的检测设备，以提高客（kè）户生产效率；适用于 4inch，6inch，8inch 晶圆。
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